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近期，“2023年度中國檢驗檢測學(xué)會科學(xué)技術(shù)獎”獲獎名單公布，北京萊伯泰科儀器股份有限公司（簡稱“萊伯泰科”）憑借其《硅片表面金屬離子國產(chǎn)檢測儀器首創(chuàng)項目》榮獲科學(xué)技術(shù)進步獎二等獎。
該獎項由中國檢驗檢測學(xué)會設(shè)立，旨在表彰那些在檢驗檢測科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域或相關(guān)領(lǐng)域，通過技術(shù)發(fā)明、科技進步、國際科技合作等活動，對推動檢驗檢測科學(xué)發(fā)展做出顯著貢獻的組織和個人。
萊伯泰科于2021年5月和2023年3月分別推出了自主研發(fā)的LabMS 3000電感耦合等離子體質(zhì)譜儀和LabMS 5000電感耦合等離子體串聯(lián)質(zhì)譜儀，其技術(shù)成熟度與產(chǎn)品可靠性已經(jīng)滿足國內(nèi)集成電路制造企業(yè)對28nm以上制程硅片表面金屬離子檢測的需求，并已成功應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓制造企業(yè)，在半導(dǎo)體行業(yè)有了巨大突破。
萊伯泰科此次獲獎的《硅片表面金屬離子國產(chǎn)檢測儀器首創(chuàng)項目》成功解決了國產(chǎn)儀器在此領(lǐng)域的技術(shù)空白，有望打破國外技術(shù)的長期壟斷。該項目依托先進的ICP離子源技術(shù)、加強的離子傳輸系統(tǒng)和基于CAN總線的電控系統(tǒng)，實現(xiàn)了儀器的高效穩(wěn)定運行及精準檢測，滿足了半導(dǎo)體硅片行業(yè)對極低檢出限的嚴苛要求。
憑借在電感耦合等離子體質(zhì)譜技術(shù)領(lǐng)域的豐富創(chuàng)新經(jīng)驗，萊伯泰科一直致力于為半導(dǎo)體行業(yè)提供更加精準、高效的解決方案。今天的榮譽標志著萊伯泰科在科技創(chuàng)新道路上達到了新的里程碑。未來，萊伯泰科將繼續(xù)專注于高端科研設(shè)備的研發(fā)，努力推動科學(xué)儀器技術(shù)的持續(xù)進步，為行業(yè)的發(fā)展貢獻自己的智慧和力量。
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